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訪問量:1331
產(chǎn)品時(shí)間:2024-10-10
品牌 | YAMATO/日本雅馬拓 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè) |
雅馬拓等離子清洗機(jī)PDC200產(chǎn)品信息:
適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗儀器。均勻性高的電極構(gòu)造。操作簡單的觸摸屏控制器。
高頻輸出300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型),電極尺寸250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)適用于研究開發(fā)的小型等離子清儀器。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺(tái)式高性能型號(hào),調(diào)取數(shù)據(jù)簡單,以電子材料為中心,可對(duì)應(yīng)多種用途。
PDC200/210/510等離子清儀器用途
?CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
?去除有機(jī)膜和金屬氧化膜
?印刷電路基板的干式清洗
?界面活性處理
?LED封裝
?DP模式(PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配)
?RIE模式
?均勻性高的電極構(gòu)造
?操作簡單的觸摸屏控制器
雅馬拓等離子清洗機(jī)PDC200產(chǎn)品參數(shù):
型號(hào) | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
等離子模式 | RIE(DP模式選配) | RIE/DP | |
電極構(gòu)造 | 平行平板(固定) | ||
高頻輸出 | Max300W | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
控制·顯示 | 液晶觸摸屏 | ||
反應(yīng)室尺寸 | W400×D250×H150mm | W500×D300×H200mm | |
電極尺寸 | W250×D170mm | W400×D200mm | |
反應(yīng)室材質(zhì) | 鋁 | ||
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) | ||
填充氣體 | N2或干燥空氣 | ||
反應(yīng)氣體流量控制 | 流量計(jì) | 聚合控制器 | |
真空泵 | 另行選配 | 油泵(約345L/分)標(biāo)配 | 油泵(約500L/分)標(biāo)配 |
氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè) | ||
外形尺寸 | W540×D600×H600mm | W540×D600×H600mm | W700×D700×H1285mm |
重量 | 約100kg | 約105kg | 約180kg |
電源 | 單相AC100V10A | 三相AC200V6A | 三相AC200V8A |